近期,经省科学技术奖专家评审组评审、省科学技术奖励委员会审定,省政府批准,园区青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司(以下简称“黄河新能源”)“电子级多晶硅成套制备技术研发及产业化”项目荣获青海省科学技术进步一等奖。
为实现自主创新,避免电子级多晶硅的制备技术被西方国家封锁垄断,黄河新能源与浙江大学硅材料国家重点实验室、浙江金瑞泓科技股份有限公司自2009年合作共同开展电子级多晶硅制备技术的研发及产业化项目的研究,致力于实现电子级多晶硅的国产化,提高电子级多晶硅的自给率。项目围绕微电子单晶用多晶硅产品制备和产业化应用,经10余年系统研究,形成了副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术,使得电子级多晶硅产品质量及产出率进一步提高,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产,受主杂质小于0.02ppba、施主杂质小于0.06ppba、表金属小于1.5ppbw、体金属小于1.0ppbw等质量指标均达到国际先进水平。
黄河新能源研究的电子级多晶硅成套制备技术研发及产业化项目,成功填补了国内技术空白,不仅降低了电子级多晶硅进口价格还提升了行业核心竞争力。今后,园区将进一步推动企业加大自主创新能力,增强核心竞争力,狠抓企业从单纯科研力到现实生产力的转化,构建园区绿色低碳循环发展现代产业体系,坚定不移走高质量发展之路,为我省建设清洁能源示范省贡献新的更大力量。